Ein Vergleich mit DÜBAG ist daher auf jeden Fall angebracht! Zu Planar Semiconductor, Inc: "Planar Semiconductor, Inc., ist ein kalifornisches Unternehmen, das sich auf die Entwicklung und Produktion von Reinigungsmaschinen für sogenannte Wafer spezialisiert hat. Wafer sind kreisrunde oder quadratische, etwa ein Millimeter dicke Scheiben, die in der Mikroelektronik, Photovoltaik und Mikrosystemtechnik eingesetzt werden. Bei den bisherigen Reinigungsverfahren erfolgt die Reinigung durch eine einseitige Behandlung mit der Politur. Nach erfolgter Reinigung der ersten Seite muss der Wafer dann gewendet werden. In den neuen Maschinen, die von Planar entwickelt wurden, durchlaufen die Wafer den Reinigungsprozess senkrecht, wobei in einem Arbeitsschritt beide Seitenflächen und auch die Kanten poliert werden. Neben der daraus resultierenden Zeit- und Kostenersparnis wird durch die Neuentwicklung von Planar zudem eine höhere Genauigkeit bei der Einhaltung der Toleranzen und eine niedrigere Ausschussrate defekter Wafer gegenüber den Konkurrenzsystemen erreicht. Der weltweite Markt für Wafer-Reinigungssysteme liegt stabil bei etwa 1,5 Mrd. USD Umsatz pro Jahr." |
